Hálfleiðara há-hreinleika gasloftskiljueining

Kjarnatækni

Ofur-hrein formeðferð:"Þriggja-síun + tvískiptur aðsog + hvatandi súrefnislosun" – ULPA síur og há-sameindasíur fjarlægja vatn (daggarmark minna en eða jafnt og -90 gráður) og CO₂ (minna en eða jafnt og 0,01 ppm), og palladíum til 0,01 ppm, eða palladíum til 0,01 ppm. að leggja grunn að eimingu.
 

Cryogenic eimingarhreinsun:„Marg-turnafall + mikil-afköst pökkun“ – Aðalturninn notar 316L bylgjupappa til að aðskilja upphaflega að 5N hreinleika. Köfnunarefnis/argon hreinsunarturni er bætt við til að ná endanlegum köfnunarefnishreinleika upp á 7N og argon hreinleika upp á 7,5N, sem fjarlægir snefilóhreinindi (metan minna en eða jafnt og 0,05ppb).

 

Ofur-hrein staða-meðhöndlun:Einkahreinsun til að koma í veg fyrir aukamengun – PTFE síur sía agnir Stærri en eða jafnt og 0,01μm, jónaskiptasúlur draga úr málmjónum og virkjaðar kolefnishylki stjórna VOC niður í minna en eða jafnt og 0,05ppb.
 

Stöðugt afhendingareftirlit:Há-nákvæmni lokað-lykkjukerfi – hálfleiðara-gráðu MFC, 316L EP-pípur (Ra Minna en eða jafnt og 0,2μm), fullsjálfvirk suðu (hæfur hlutfall 100%), í samræmi við SEMI F30.

 

vinnureglu

 

 

 

Fjöl-regla samsettrar formeðferðar

Þriggja-þreps tenging "síun + aðsogs + hvata": ULPA síur og há-sameindasíur fjarlægja vatn (daggarmark Minna en eða jafnt og -90 gráður) og CO₂ (Minna en eða jafnt og 0,01 ppm), en palladíum hvatar sem finnast til að fjarlægja súrefni og ppm sem eru jafngildir ppm og ppm. hár hreinleiki.

 

 

Reglan um djúp-kald eimingu og brotaaðskilnað

Með því að nýta suðumarksmuninn á milli súrefnis, köfnunarefnis og argon, eru margar súlur notaðar í röð til hreinsunar: Aðalsúlan, með 316L pökkun, nær upphaflegum aðskilnaði í 5N; köfnunarefnis/argon hreinsunarsúlan (-196 gráður) fjarlægir snefilóhreinindi og nær að lokum styrkleika köfnunarefnis upp á 7N og styrk argon 7,5N (metan minna en eða jafnt og 0,05 ppb).

 

 

Ofur-hreinn mengunarvarnaregla eftir-meðhöndlun

Sérhreinsun kemur í veg fyrir aukamengun: PTFE-síur, jónaskiptasúlur draga úr málmjónum (Minni en eða jafnt og 0,01 ppb), og virkjað kolefnishylki stjórna VOC niður í minna en eða jafnt og 0,05 ppb, sem tryggir hreinleika gassins.

 

 

Há-nákvæmni lokuð-lykkjustjórnunarregla

„Há-nákvæmnisstýring + hrein leiðsla“: Hálfleiðara-MFC og 316L EP-pípur (Ra Minna en eða jafnt og 0,2μm) eru soðnar að fullu sjálfkrafa til að tryggja stöðuga flutning og óskertan hreinleika.

 

1. Er hægt að aðlaga gashreinleikann sem þessi búnaður framleiðir að kröfum mismunandi hálfleiðaraferla?

Við getum sérsniðið hreinleikalausnir byggðar á sérstökum ferlikröfum. Með því að stilla hreinsunarturnsferlið og eftir-vinnslueiningar getum við náð stöðugri framleiðslu sem uppfyllir kröfur 14nm ferla. Há-hreinar lofttegundir fyrir háþróaða ferla, þar með talið þau hér að neðan, er hægt að fínstilla fyrir framtíðarferlauppfærslur án þess að þurfa að skipta um búnað.
 

2. Hvernig getum við komið í veg fyrir aukagasmengun við notkun búnaðar? Hálfleiðaraframleiðsla krefst mjög mikils hreinlætis.

Þetta er tryggt á tvo vegu: Í fyrsta lagi, sérstakt ofur-hreint eftir-meðhöndlunarkerfi fjarlægir örsmáar agnir og málmjónir í gegnum ferla eins og ofsíun og jónaskipti. Í öðru lagi notar afhendingarferlið sérhæfð pípuefni og bjartsýni suðutækni til að lágmarka frásog óhreininda á pípuveggjunum og koma þannig í veg fyrir aukagasmengun í öllu ferlinu.
 

3. Við notkun búnaðar geta gasflæði og þrýstingssveiflur haft áhrif á vinnslu hálfleiðara. Hvernig getum við tryggt stöðugar breytur?

Há-nákvæmni lokað-lykkjustýringarkerfi, ásamt faglegum flæðisstýringu fyrir rauntímastillingu breytu og fínstilla lagnahönnun, stjórnar flæðis- og þrýstingssveiflum á áhrifaríkan hátt og tryggir stöðugar færibreytur fyrir gasframboð sem uppfylla nákvæmniskröfur hálfleiðaraferla.
 

4. Er viðhald á búnaði flókið? Mun viðhald hafa áhrif á samfellda rekstur hálfleiðara framleiðslulínunnar?

Einfaldaða viðhaldsferlið gerir ráð fyrir snemmbúinn viðvörun um viðhald kjarnaíhluta með vöktun á netinu. Kerfið styður einnig "forsmíði án nettengingar + nettengingu." Með yfirgripsmiklu viðhaldslíkani krefst mikilvægt viðhald aðeins stutta niður í miðbæ og tímabundin gasbirgðaáætlun verður þróuð til að lágmarka truflun á framleiðslulínunni.

5. Ef hálfleiðarinn stækkar getu í framtíðinni, er hægt að stækka núverandi búnað? Er þessi stækkun erfið?

Búnaðurinn hefur innbyggt-stækkunartengi. Stækkun afkastagetu krefst aðeins að bæta við samsvarandi hreinsunareiningum og flutningshlutum, án þess að taka í sundur kjarnaeimingarkerfið. Ítarlegir ferliútreikningar og forsmíði eru gerðar fyrir stækkun, sem leiðir til stutts byggingartíma á-staðnum og lágmarks flókið, sem gerir hraða aðlögun að þörfum fyrir aukningu á afkastagetu.

maq per Qat: hálfleiðara há-loftskiljueining fyrir gas, há-hreinleika gaslofts, Kína hálfleiðara há-hreinsunargasloftskiljueining, birgjar, verksmiðja